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當(dāng)前位置:首頁   >    產(chǎn)品中心   >    暖通環(huán)保   >    控制器   >   ALICAT CVD行業(yè)專用真空控制器 53系列 產(chǎn)品展示

ALICAT CVD行業(yè)專用真空控制器 53系列

型 號

所屬分類控制器

報價

更新時間2024-11-20

產(chǎn)品描述:ALICAT CVD行業(yè)專用真空控制器 53系列可快速達到真空設(shè)定值并保持該設(shè)定值,即使遇到不穩(wěn)定的供給壓力或者不斷變化的溫度,亦如此。我們將利用您提供的參數(shù)為您定制閥門和 PID 調(diào)節(jié)功能,確保您的真空控制器能實現(xiàn)快速、穩(wěn)定的控制。

產(chǎn)品概述

品牌其他品牌應(yīng)用領(lǐng)域化工,綜合

在流動氣體專用真空控制器中,53系列真空控制器可快速達到真空設(shè)定值并保持該設(shè)定值,即使遇到不穩(wěn)定的供給壓力或者不斷變化的溫度,亦如此。我們將利用您提供的參數(shù)為您定制閥門和 PID 調(diào)節(jié)功能,確保您的真空控制器能實現(xiàn)快速、穩(wěn)定的控制。

ALICAT CVD行業(yè)專用真空控制器 53系列應(yīng)用及案例


●人造鉆石MPCVD設(shè)備


●半導(dǎo)體各種CVD鍍膜設(shè)備

ALICAT CVD行業(yè)專用真空控制器 53系列產(chǎn)品特色

● 快速、準確的閥門和PID控制算法確保在數(shù)毫秒內(nèi)極其快速地達到真空設(shè)定值,且具有NIST可溯源精度。

● 默認背壓控制選項。53系列真空控制器下游閥門的選項,可使您的真空產(chǎn)品成為背壓控制器。該選項與絕壓壓力傳感器配合時尤其能取得事半功倍的效果,后端真空泵如何變化,均可將您的過程系統(tǒng)保持在一定的準確真空度。

● 針對CVD行業(yè)特殊設(shè)計的結(jié)構(gòu),VCR 接頭與底座一體式加工,結(jié)構(gòu)更加緊湊,泄漏率可達10-9 atm·cc/sec He,更好的滿足客戶需求。


技術(shù)指標


性    能

滿量程

300-1000mbarA(該范圍內(nèi)任意標定)

精度

± 0.25%滿量程

高  精  度

± 0.125%滿量程 

重  復(fù)  性

± 0.08%滿量程

零點&滿量程溫度漂移

0.02%滿量程/℃(從校準溫度開始)

量程可控比(穩(wěn)態(tài))

0.5% ~ 100% 滿量程

控制響應(yīng)時間

優(yōu)于30 ms(與流量和閥門尺寸有關(guān),用戶可調(diào))

顯示響應(yīng)時間

<10ms

閥門功能

常閉型

工作濕度

0-95%,無冷凝

泄漏率(外漏)

10-9 atm·cc/sec He

預(yù)熱時間

< 1 s


操作條件

兼容氣體

兼容所有非腐蝕性氣體

工作溫度

-10 ~ 60 ℃(可選高溫選項)

傳感器極限壓力

3 × 滿量程

位置敏感性

閥門狀態(tài)

常閉

防護等級

IP40

接液材質(zhì)

302,303,304,430FR不銹鋼,F(xiàn)KM(默認,可選EPDM或FFKM),陶瓷,玻璃,金,銅,環(huán)氧樹脂,硅橡膠,聚酰胺,硅,玻璃增強聚苯硫醚


 

通訊/電源


帶背光燈按鍵,單色

LCD或彩色TFT顯示器

顯示壓力和設(shè)定點

數(shù)字通信選項

默認RS – 232/ Modbus RTU;可選RS – 485/Modbus RTU、DeviceNet、EtherCAT、EtherNet/IP、Modbus TCP/IP、PROFIBUS等

模擬信號選項

默認0 - 5 VDC;可選4-20mA、1 - 5 VDC、0 - 10 VDC

模擬信號刷新頻率

1000Hz

顯示刷新頻率

10Hz

數(shù)字信號刷新頻率

40Hz@19200BAUD

模擬信號精度

標準精度額外增加±0.1%滿量程誤差

電氣接口

默認DB9M;可選 DB15、6針鎖定、8針mini-DIN、M12等

供電電壓

12 - 24 VDC

供電電流

250m A(+40mA,對于4-20mA)


 



尺寸連接


尺      寸(mm)1

112.51 H ×112.85 W × 26.67 D

連        接2

1/4" VCRM

注1、默認閥門為PCV閥門,其他閥門尺寸見具體圖紙;




尺寸詳圖


ALICAT CVD行業(yè)專用真空控制器 53系列


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